Ultrapräzision festigt Marktpositionen
Ultrapräzision festigt Marktpositionen
Die Ultrapräzisionstechnik beinhaltet alle Bearbeitungsverfahren, bei denen Körper und Oberflächen mit makroskopischen Abmessungen extrem präzise in Form und Glattheit hergestellt werden. Hauptanwendungsgebiet der Ultrapräzisionsbearbeitung ist die Herstellung optischer Oberflächen und ultraglatter Wafer. Bei diesen beiden Produktgruppen sind Weltmarktumsätze bis zu 30 Mrd. Euro in der Diskussion.
Glättung mit Präzision
Speziell in der Optik und Feinmechanik sind Bearbeitungsverfahren für beliebig geformte Oberflächen, Polierfehlerkorrekturverfahren und Optik-Beschichtungstechniken, sowie Geräteentwicklungen für die sub-100nm-Lithographie und online-Überwachung bei der Ultrapräzisionsbearbeitung von hoher industrieller Bedeutung (z.B. für die Projektions-Röntgenlithographie).
Feinmechanik/Optik/Analytik:
- Polierfehlerkorrektur
- Optiken mit nm-Formgenauigkeit (Stepperoptiken, Asphären, Röntgenoptiksubstrate, Infrarotoptiken, diffraktive Optiken,Laserspiegel)
- Präzisionsbearbeitungsgeräte
Elektronik/Informationstechnik:
- Waferschleifen
- Waferpolitur
Automobil/Maschinenbau:
- Reibarme Lager
- nm-Positioniertechnik
- Ultrapräzisionstechnik-Maschinen mit hohem Durchsatz
Branchenübergreifend:
- Geräte und Bearbeitungsverfahren für nm-Toleranzen und nm-Formgenauigkeiten (Dreh-, Schleif- und Poliermaschinen)
